EP系列等离子清洗机原理
在真空状态下(约10~100Pa) ,给气体施加电场,气体在电场提供的能量下会由气态转变为等离子体状态(也称物质的“第四态”)。其中含有大量的电子、离子、光子和各类自由基等活性粒子。
等离子体表面改性技术就是利用这些高能粒子和活性粒子与材料表面发生物理或化学的反应,从而达到改变材料表面性质的目的。
技术参数
整机规格(W*D*H) | 1320mm*1030mm*1600mm | 1420mm*1100mm*1700mm | 1500mm*1100mm*1800mm |
腔体规格(W*D*H) | 400mm*450mm*400mm | 500mm*550mm*500mm | 600mm*650mm*600mm |
腔体容积 | 70L | 135L | 235L |
电极规格 | 内置平板式电极,电极板间距 50mm,374mm*340mm(W*D),共 7 块 | 内置平板式电极,电极板间距 45mm,474mm*440mm(W*D),共 9块 | 内置平板式电极,电极板间距 45mm,574mm*540mm(W*D),共 11 块 |
载物层数 | 共 6 层 | 共 8 层 | 共 10 层 |
电源系统 | 固态晶体管等离子发生源,40khz | ||
真空系统 | 标配:泵组(油泵+罗茨泵) | ||
控制系统 | 触摸屏+PLC 控制 | ||
进气系统 | 标配:1 路进气,1 路放空(可根据客户需求增加进气路) |